[366]薄膜表面評価用インプレーンX線回折装置

ID
366
設備・機器分類
分析 | X線分析
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
リガク
型式
SmartLab 90TF
仕様・特徴
下記のトライボロジー融合研究拠点のページを参照してください。
http://tribology.niche.tohoku.ac.jp/tribo/equipment.html

装置の特徴   
1、測定に先立って行うスリットの設定などの光学系調整や半割り等で試料の高さ・角度をせっていする試料位置調整において、最適条件を教えてくれるガイダンス機能を有しており、また、、それらの自動調整を行います。     
2.通常のX線回折、薄膜厚さ等を調べることができる反射率測定に加えて、X線を試料表面近傍に入射して薄膜試料面内回折をスキャン(インプレーン測定)することで、試料面に垂直方向の結晶情報、配向や結晶性、歪み等を高精度で測定することができます。                                                 

仕様
〇X線発生部 最大定格出力:9kW(45kV,200mA)、ターゲット:Cu
〇ゴニオメーター 最小ステップ角度:0.0001°
〇サンプル  標準サイズ:Φ100㎜×3㎜以内、高さ上限:24㎜、重量上限:1kg
〇オプション:高温測定(~900℃)、小角散乱測定
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
未来科学技術共同研究センター
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/172
備考
「トライボロジー融合拠点」の手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますのでのホームページ
(http://tribology.niche.tohoku.ac.jp/tribo/index.html)をご確認ください。
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