- ID
- 413
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：×
- メーカー
- パナソニックファクトリーソリューションズ
- 型式
- E620R&D特型
- 仕様・特徴
- パナソニック製8インチ対応NB装置
- 用途・使用目的
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- キャンパス
- 片平キャンパス
- 部局
- 流体科学研究所
- 管理部署
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- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/201
- 備考
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