[413]中性粒子ビームエッチング装置

設備・機器
ID
413
設備・機器分類
加工・処理 | 微細加工・デバイス作製・評価
利用区分
学内:〇, 学外:×
メーカー
パナソニックファクトリーソリューションズ
型式
E620R&D特型
仕様・特徴
パナソニック製8インチ対応NB装置
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
流体科学研究所
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/201
備考
チャットボット ハギボー