- ID
- 882
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：×
- メーカー
- ディスコ
- 型式
- DAD-522
- 仕様・特徴
- ー
- 用途・使用目的
- ウェハー等の薄板の切断加工・溝切加工
- キャンパス
- 片平キャンパス
- 部局
- 電気通信研究所
- 管理部署
- 電気通信研究所
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/819
- 【閲覧用】設備予約カレンダー
- 備考
- ー
