[835]電子線描画装置(JBX-8100FS)

ID
835
設備・機器分類
加工・処理 | 微細加工・デバイス作製・評価
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
日本電子株式会社
型式
JBX-8100FS
仕様・特徴
加速電圧100kV
5mm~8inchウエハー対応
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
電気通信研究所
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/762
備考
チャットボット ハギボー