[1007]スパッタ装置

設備・機器
ID
1007
設備・機器分類
加工・処理 | 微細加工・デバイス作製・評価
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
アルバック九州(株)
型式
QAM-4-S
仕様・特徴
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
材料科学高等研究所
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/874
学外利用料金

※更新の都合で実際の料金とは異なる場合がございます。
本人利用: 2,868円 / 時間
学内利用料金
上記予約サイトのURLより設備統合管理システムにログインの上、ご確認ください。
備考
チャットボット ハギボー