[109]電子線描画装置

ID
109
設備・機器分類
加工・処理 | 微細加工・デバイス作製・評価
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
日本電子
型式
JBX-9300SA
仕様・特徴
加速電圧100kV,5mm~6inchウエハ対応
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
電気通信研究所
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/61
備考
<施設等使用料>
国立大学法人東北大学電気通信研究所共同研究施設装置利用内規を適用

<消耗品等費>
国立大学法人東北大学電気通信研究所共同研究施設装置等利用内規を適用
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