[026]超精密格子定数測定用X線回折装置

ID
026
設備・機器分類
分析 | X線分析
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
リガク
型式
XRD, SuperLab
仕様・特徴
用 途
・薄膜試料の結晶構造解析
特 徴
・最小精度0.00002oのゴニオメータを有するので、超精密なX線回折測定が可能。
・数nmの極薄膜の結晶構造を測定できる面内方位X線回折測定(In-Plane XRD)に対応。
・X線反射率測定(XRR)に対応し、有機/無機、結晶/非結晶を問わず、膜厚・密度解析が可能。
・測定室内を恒温管理しており、試料や分光結晶などの温度もモニタリング可能。
・その他にも、逆格子マッピング測定や極点図測定、微小角入射小角散乱測定(GI-SAXS)に対応。
用途・使用目的
キャンパス
片平キャンパス
部局
電気通信研究所
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/17
備考
4測定軸+1制御軸の5軸測定が可能です。ゴニオメータを最小0.00002°で制御可能で、In-Plane XRDやGI-SAXSなどの様々な測定を精密に行えます。
消耗品等:記録用CD
チャットボット ハギボー