- ID
- 893
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：×
- メーカー
- ㈱アルバック製
- 型式
- ＡＣＳ－４０００－ＴＣ1
- 仕様・特徴
- ロードロック式、到達真空度：1×10-5Pa以下、基板サイズ：最大Φ2インチ
- 用途・使用目的
- 薄膜成膜
- キャンパス
- 青葉山キャンパス
- 部局
- 工学研究科（マテリアル・開発系）
- 管理部署
- ー
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/827?utm_source=portal&utm_medium=link
- 【閲覧用】設備予約カレンダー
- カレンダーは公開されていません。
- 備考
- ー
