- ID
- 539
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- 学内：〇, 学外：〇
- メーカー
- SUSS Micro Tec
- 型式
- SB-6e
- 仕様・特徴
- ６インチウエハまでの陽極接合，金属接合が可能
- 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- 青葉山キャンパス
- 部局
- 工学研究科（機械・知能系）
- 管理部署
- ー
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/216
- 備考
- 共同棟クリーンルーム諸設備の利用は学内に開放しておりますが，設備全般の使用頻度に応じて利用者の所属研究室から消耗品や装置維持費用を分担して頂いています。
装置使用頻度の高い方は，装置担当者に就任して頂き，装置の維持管理に貢献して頂くことが利用の前提となります。
