- ID
- 260
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- ー
- メーカー
- 光洋サーモシステム
- 型式
- 272A-M200
- 仕様・特徴
- ー
- 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- 青葉山キャンパス
- 部局
- 工学研究科（機械・知能系）
- 管理部署
- マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- https://web.tohoku.ac.jp/mnc/
- 備考
- 本学に別途設置されている「マイクロ・ナノマシニング研究教育センター」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。
