- ID
- 249
- 設備・機器分類
- 加工・処理 ｜ 微細加工・デバイス作製・評価
- 利用区分
- ー
- メーカー
- SUSS MicroTec
- 型式
- MA8 Gen3 Thu1
- 仕様・特徴
- ー
- 用途・使用目的
- ー
- キャンパス
- 青葉山キャンパス
- 部局
- 工学研究科（機械・知能系）
- 管理部署
- 田中（秀）研究室
- 設備担当者
- 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
- 予約サイトのURL
- 担当者：平野栄樹(6936)に直接連絡
- 備考
- 利用は本学関係者に限る、安全講習受講が利用条件。
[249]マスク露光システム装置〔リンク〕
