[402]インラインスパッタリング装置 C3010

ID
402
設備・機器分類
加工・処理 | 微細加工・デバイス作製・評価
利用区分
学内:〇, 学外:〇
メーカー
型式
仕様・特徴
用途・使用目的
キャンパス
青葉山キャンパス
部局
工学研究科(電子情報システム・応物系)
管理部署
設備担当者
利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
予約サイトのURL
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/equipment/detail/1/199
備考
利用の際は、ミニスーパークリーンルームの利用規定に従い、利用者講習の受講・協力金 ・施設利用料 ( 円/日) のご負担をお願いします。
チャットボット ハギボー